真空蒸鍍是將固體材料（簡(jiǎn)稱(chēng)蒸鍍材料）在高真空環(huán)境中加熱，沉積在特定基板上，得到薄膜的過(guò)程。真空蒸鍍工藝主要用于微電子制造有源元件、器件觸點(diǎn)和金屬互連件、高精度低溫度系數薄膜電阻器，以及薄膜電容器的絕緣介質(zhì)和電極。

　　真空蒸發(fā)鍍膜

　　通過(guò)真空蒸發(fā)工藝形成各種薄膜是集成電路制造的一項重要技術(shù)?？梢酝ㄟ^(guò)真空蒸發(fā)沉積多種材料，例如導電材料、介電材料、磁性材料和半導體材料。

　　影響薄膜質(zhì)量的關(guān)鍵過(guò)程

　　在真空蒸發(fā)過(guò)程中，系統的真空度直接影響薄膜的質(zhì)量。為了將蒸發(fā)原子或分子沉積在離蒸發(fā)源一定距離的基板上，真空室的真空度一般應優(yōu)于6×10-2 Pa。在真空室中，蒸發(fā)材料只有在其蒸氣壓在1Pa以上時(shí)才被蒸發(fā)。為此，往往需要將蒸發(fā)顆粒加熱到1000～2000℃；對于一些耐火材料，它必須加熱到高達3000°C。

　　常見(jiàn)的加熱方式有兩種

　　直接加熱-將高熔點(diǎn)導體（如鉬、鈮、鎢或石墨、氮化硼、硼化鈦的混合物）制成各種形狀的籃子或舟，將蒸發(fā)丸放在上面，用大電流以提高溫度。

　　間接加熱-有些材料在高溫下可能會(huì )被加熱的材料腐蝕，因此不應直接放在加熱器上。這時(shí)，我們可以使用一些耐熱且穩定的材料，如氧化鋁、氧化釔或氧化鋯來(lái)制作坩堝。蒸發(fā)材料置于坩堝內，加熱器通過(guò)坩堝加熱蒸發(fā)材料。