磁控濺射鍍膜機是一種利用磁控濺射技術(shù)進(jìn)行鍍膜的設備,它的工作原理主要涉及到磁場(chǎng)控制、濺射沉積和真空環(huán)境等幾個(gè)方面。
首先,磁控濺射鍍膜機利用磁場(chǎng)控制技術(shù)。在設備中,存在一個(gè)磁場(chǎng),該磁場(chǎng)是由電源產(chǎn)生的。這個(gè)磁場(chǎng)可以控制電子的運動(dòng)軌跡。在磁場(chǎng)的作用下,電子圍繞靶材表面運動(dòng),并且在運動(dòng)過(guò)程中會(huì )與靶材表面的原子發(fā)生碰撞,使得靶材表面的原子被激發(fā)并從表面飛出。
接下來(lái)是濺射沉積過(guò)程。當靶材表面的原子被激發(fā)并飛出時(shí),它們會(huì )沉積在基底表面形成薄膜。這個(gè)過(guò)程是通過(guò)濺射現象實(shí)現的。濺射現象是指高能粒子或高速氣流等能量源對固體表面進(jìn)行轟擊,使得固體表面的原子或分子被激發(fā)并離開(kāi)固體表面,然后在真空中飛行并沉積在基底表面。
此外,磁控濺射鍍膜機還處于一個(gè)高真空的環(huán)境中。這個(gè)高真空環(huán)境可以減少氣體雜質(zhì)對薄膜質(zhì)量的影響,使得沉積在基底表面的薄膜更加純凈和致密。
總的來(lái)說(shuō),磁控濺射鍍膜機的工作原理是通過(guò)磁場(chǎng)控制下的高速電子流轟擊靶材,使得靶材表面的原子被激發(fā)并飛出,然后沉積在基底表面形成薄膜。這個(gè)過(guò)程是在高真空環(huán)境下進(jìn)行的,可以獲得高質(zhì)量、純凈和致密的薄膜。由于磁控濺射鍍膜機的靈活性和可擴展性較高,因此它可以用于制備各種不同材料和厚度的薄膜,廣泛應用于光學(xué)、電子、機械等領(lǐng)域。